SK머티리얼즈 영주공장 육불화텅스텐 가스 누출

게시일: Apr 14, 2018 12:15:40 PM

경북 영주시 상줄동 가흥산업단지에 위치한 SK머티리얼즈 공장에서 반도체 공정용 특수가스 육불화텅스텐(WF6)이 2018년 4월 13일 오전 6시 30분부터 누출되기 시작하여 오전 7시 30분 경 누출을 막아 1시간 동안 주변지역으로 누출이 되었다. 이 물질은 반도체 배선형성 공정에서 메탈 실리콘 증착에 사용되는 특수가스다. 물과 만나면 불산으로 변해 들이마실 경우 호흡기가 손상될 수 있다.